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[发明专利]等离子体发生装置-CN201380081635.2有效
发明人：朴宰范 -专利权人：应用等离子体株式会社
申请日： 2013-12-11 - 公布日： 2018-10-26 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：本发明公开等离子体发生装置。根据本发明一实施例的等离子体发生装置包括：等离子体发生模块，用于发生等离子体；以及旋转体，具有至少一个等离子体喷嘴，上述至少一个等离子体喷嘴用于将通过上述等离子体发生模块发生的等离子体吹向外部，上述旋转体与上述等离子体发生模块分开设置，且以能够旋转的方式配置于上述等离子体发生模块的外侧。
等离子体发生装置

[实用新型]等离子体发生装置-CN202120952376.8有效
发明人：樊华;张明侠 -专利权人：梅代尔澳大利亚有限公司
申请日： 2021-05-06 - 公布日： 2021-11-05 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种等离子体发生装置，涉及等离子体生产设备的技术领域，包括固定机构和等离子体发生机构；等离子体发生机构通过固定机构安装在特定设备中，或者放置的预设的管道内，管道内部流通有气体，气体会随着等离子体上的镂空腔进行流通；通过等离子体发生机构的电晕放电现象使得流动至镂空腔内的气体分子带电，从而形成等离子体进行下一步处理；由于等离子体发生装置是一个等离子体发生的基础结构，可以放置在任何需要的设备或者管道内部，只需要保证向等离子体发生机构提供电压即可，缓解了现有技术中存在的等离子体发生装置设备庞大，被处理物的存在空间限制，以及处理过程复杂且耗时长的技术问题。
等离子体发生装置

[发明专利]等离子体发生装置-CN202180057457.4在审
发明人：申东勋;洪镛澈;千世珉;梁乾祐;李羲宰 -专利权人：韩国核融合能源硏究院
申请日： 2021-08-06 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体发生装置，本发明的示例性实施例的等离子体发生装置包括：电磁波发生器；等离子体喷枪，通过电弧放电生成等离子体；及波导管，引导在电磁波发生器生成的电磁波向等离子体侧传输；其中，通过波导管传输的电磁波加热等离子体的一侧部
等离子体发生装置

[实用新型]等离子体发生装置-CN201520743309.X有效
发明人：叶燕峰 -专利权人：叶燕峰
申请日： 2015-09-23 - 公布日： 2016-02-24 - 主分类号： A61L9/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种等离子体发生装置，包括矩形框架体和等离子体发生器，框架体内为等离子发生区，框架体的两侧分别为进风口和出风口，等离子体发生器为介质阻挡放电等离子发生器，等离子体发生器上设置有电连接的接线端子，框架体底板内表面上设置绝缘底座，绝缘底座上成一排间隔配对设置有若干组与接线端子相插接配合的导电板，在绝缘底座上位于导电板的后方竖直设置有供等离子体发生器通过接线端子成组配装并固定限位的槽座，每组等离子体发生器之间通过接线端子相互排插连接其结构简单紧凑，制作工艺难度低，装配维修便利，等离子体发生率高，具有良好的杀菌、除臭效果。
等离子体发生装置

[发明专利]等离子体发生装置-CN200810009903.0无效
发明人：李相老;林盛实;金允焕;崔宇喆 -专利权人： SE等离子株式会社
申请日： 2008-02-13 - 公布日： 2008-08-13 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种等离子体发生装置，该等离子体发生装置将下部电极的部分区域向下突出而形成等离子体排出口，并设置将下部电极下表面与外部隔开的外部壳体，从而对局部范围进行等离子体加工时能够防止被加工物的加工部位之外的部分受到损伤，而且在等离子体排出口与外部壳体之间形成副产物吸入口，从而可以有效去除进行等离子体加工时产生的副产物。根据本发明，由于下部电极所发生的热量被外部壳体阻断，因而可以防止被加工物表面受损；并且，通过使下部电极的一部分突出，可以防止等离子体在被加工物表面扩散；再有，由于在进行等离子体处理的一旁进行排气，可以及时去除进行等离子体处理时发生的副产物
等离子体发生装置

[发明专利]等离子体发生装置-CN200580008341.2有效
发明人：泷川浩史;椎名祐一 -专利权人：日本磁性技术株式会社;泷川浩史
申请日： 2005-02-17 - 公布日： 2007-03-21 - 主分类号： H05H1/50 文献下载
摘要：能将阴极电弧等离子体的起动、维持、停止等系列操作长时间反复断续进行的等离子体发生装置。本发明的成膜用等离子体发生装置配备有供给电弧等离子体构成粒子的阴极(4)和电弧等离子体的起动与保持用的触发器兼阳极(6)，阴极(4)的阴极面(4a)为平坦的或具有细微凹凸，与阴极面(4a)接触的触发极兼阳极(6)的阳极面(6c)则有平坦的表面，且配装成在等离子体起动时，阳极面(6c)与整个阴极面(4a)接触，此阴极面(4)的微细凸部前端(4b)与阳极面(6c)的接触点上作为等离子体的发射点，在此凸部用等离子体发射的消耗时则以能与此阳极面(6c)接触的另一凸部前端作为新的等离子体的发射点，在持续反复继续进行上述系列操作时长期间地生成稳定的等离子体。
等离子体发生装置

[发明专利]等离子体发生装置-CN201280069371.4有效
发明人：宫本诚;竹之下一利;山田幸香;寺尾芳孝;平井伸岳 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2012-12-07 - 公布日： 2017-10-13 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：这里所公开的是一种等离子体发生装置，该等离子体发生装置能通过在抑制臭氧产生的同时增加离子或自由基的产生量而充分地执行除臭功能和杀菌功能。等离子体发生装置具有提供有电介质膜(21a和22a)的一对电极(21和22)，并且用于在电极(21和22)之间施加预定电压以释放等离子体，流体循环孔(21b和22b)分别提供在各电极(21和22)的相应位置处且穿过电极，并且等离子体仅发生在一对电极(21和22)之间形成流体循环孔(21b和22b)的开口端部(21x和22x)中。
等离子体发生装置

[实用新型]等离子体发生装置-CN200620068363.X无效
发明人：李衎 -专利权人：李衎
申请日： 2006-01-05 - 公布日： 2007-02-07 - 主分类号： H05H1/40 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于有机材料表面处理的稳定均匀的低温等离子体发生装置，本发明包括同轴、彼此绝缘设置的圆桶形的内、外桶，内桶的桶壁上均布有通孔，内、外桶之间的空间就形成了产生等离子体的发生区，等离子体通过内桶上的开孔从四周向中心扩散，使整个内桶内部空间形成均匀等离子体用来处理物件，由于被处理的高分子材料置于两电极之外，不影响装置的电容参数，保证等离子体参数的一致性，最终保证生产过程中，每次处理效果的一致性。
等离子体发生装置

[发明专利]等离子体发生装置-CN201780090785.8有效
发明人：神藤高广 -专利权人：株式会社富士
申请日： 2017-05-16 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明的课题在于提供一种能够检测头的连接器与电力线缆是否已经电连接的等离子体发生装置。在等离子体头的连接器与线缆束已经电连接的情况下，根据从控制器输出的脉冲信号，使信号电流在从控制器起经由光耦合器、继电器、线缆、端子、端子以及第一接地线缆而到达地线的路径中流动。因而，等离子体发生装置能够根据光耦合器是否检测出信号电流来检测等离子体头的连接器与第一电力线缆以及第二电力线缆是否已经电连接。
等离子体发生装置

[发明专利]等离子体发生装置-CN201910199877.0有效
发明人：保罗·贝内特 -专利权人： SPTS科技有限公司
申请日： 2019-03-15 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体发生装置。该装置包括多个等离子体源，每个等离子体源包括经由相应的传输线被电耦接到公共电气端子的相应的天线线圈组件。
等离子体发生装置

[发明专利]等离子体发生装置-CN201710272198.2有效
发明人：赵向阳 -专利权人：上海新昇半导体科技有限公司
申请日： 2017-04-24 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： G01N27/62 文献下载
摘要：本发明提供了一种等离子体发生装置，所述等离子体发生装置包括本体、第一管体、第二管体和第三管体，其中：所述本体分别连接所述第一管体、所述第二管体和所述第三管体的顶端；所述第一管体位于所述第二管体中，所述第二管体位于所述第三管体中；所述第一管体的长度小于所述第二管体，所述第二管体的长度小于所述第三管体；所述第二管体包括第一端部，所述第一端部靠近所述第二管体的末端；所述第二管体具有一个或多个第一类孔，所述第一类孔位于所述第一端部的侧壁上
等离子体发生装置

[发明专利]等离子体发生装置-CN201310631606.0有效
发明人：弓削政郞;竹之下一利;山田幸香;宫本诚 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2013-12-02 - 公布日： 2017-11-21 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体发生装置。仅在与空气接触的部分产生等离子体而消除在不必要的部分中的放电并抑制臭氧的产生。所述等离子体发生装置具备围绕流路R而形成的环形的低电介质层2；记载低电介质层2的同时，围绕流路R而形成的第一电极3及第二电极4；在第一电极3及第二电极4、第一电极3或第二电极4之中的至少一个与低电介质层
等离子体发生装置

[发明专利]等离子体发生装置-CN201780089248.1有效
发明人：神藤高广 -专利权人：株式会社富士
申请日： 2017-04-04 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体发生装置，通过一对电极的端部之间的放电来产生等离子体，所述一对电极以彼此的侧面相向的状态配设，一对电极的放电侧的端面被切成彼此相对。
等离子体发生装置

[发明专利]等离子体发生装置-CN201780089238.8有效
发明人：神藤高广;池户俊之 -专利权人：株式会社富士
申请日： 2017-04-04 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体发生装置，该等离子体发生装置具备：一对电极；一对保持架，以使一对电极的端部突出的状态保持一对电极；及壳体，形成有第一凹部，在从一对保持架突出的一对电极的端部插入于第一凹部的状态下与一对保持架组合
等离子体发生装置

[发明专利]等离子体发生装置-CN201680091056.X有效
发明人：神藤高广;池户俊之 -专利权人：株式会社富士
申请日： 2016-11-24 - 公布日： 2023-02-24 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体发生装置(20)，其特征在于，具备：一对电极(56)，通过放电来产生等离子体；第一供给路(62)，沿所述一对电极各自的外周供给处理气体；第二供给路(61)，向所述一对电极之间供给处理气体
等离子体发生装置

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